?連相?光源DCLS極紫外光束傳輸系統(tǒng)

極紫外光束傳輸系統(tǒng)是?連相?光源（DCLS）光源技術(shù)的關(guān)鍵系統(tǒng)之?，主要?于將在真空中產(chǎn)?且不能在空 ?中傳輸?shù)臉O紫外光束?效地傳輸?shù)綄?shí)驗(yàn)研究?作站。 創(chuàng)譜儀器承接并完成了該光束傳輸系統(tǒng)的光學(xué)設(shè)計(jì)、 ?程設(shè)計(jì) 、 在線安裝與集成測(cè)試?作，帶光調(diào)試結(jié)果符合 預(yù)期指標(biāo)要求，已順利交付并投?使?。