極紫外光源

CT型真空紫外光譜儀 極紫外光源，采?Czerny-Turner光學(xué)結(jié)構(gòu)，可以在空間上將復(fù)?光分成?系列單?光，系統(tǒng)由平?衍射光柵、前后準(zhǔn)直聚焦鏡及CCD探測器組成。CT型真空紫外光譜儀可應(yīng)用在大科學(xué)裝置、空間與防務(wù)、半導(dǎo)體極紫外光源與探測器研究。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、高光譜分辨

2、在線精密可調(diào)狹縫

3、遠(yuǎn)程激光瞄準(zhǔn)定位

3、結(jié)構(gòu)緊湊集成度高

4、高真空兼容性

主要參數(shù)：

· 光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：CT型

· 焦距：270mm,可定制調(diào)節(jié)

· 光譜分辨：<1nm

· 狹縫寬度：5-300μm在線連續(xù)可調(diào)

· 波長精度：±0.05nm@230nm

· 光譜范圍：115-400nm,根據(jù)光柵型號選擇

· 系統(tǒng)接收角：f/#=4.0

· 系統(tǒng)真空度：103Pa

選配范圍：

極紫外光源測試數(shù)據(jù)：

應(yīng)用領(lǐng)域：

大科學(xué)裝置、空間與防務(wù)、半導(dǎo)體極紫外光源與探測器研究。